Полупроводствена неръждаема стомана: 316L vim-var vs . 904 l

 

Защо вакуумна стопилка 316L за инструменти за вафли?
VIM-VAR (вакуумна индукция разтопена-вакуумна дъга се презарежда) намалява включванията в<5 particles/cm² >0 . 3μm. Съдържание на газ (O₂<30ppm, N₂ <150ppm) prevents micro-outgassing in vacuum chambers. Surface roughness Ra ≤0.05μm achievable.

 

Кога е посочен 904L за мокри пейки?
904L resists HF/HNO₃ acid mixtures during wafer etching. Copper addition (1-2%) improves sulfuric acid resistance. PREN >35 предотвратява корозията в ултрапластовата вода (18 MΩ · cm съпротивление) .

 

Как повърхностните обработки предотвратяват замърсяването?
Електрополиране премахва слоя с работна закалка. Лазерното шоково обработка предизвиква компресивни напрежения, за да намали миграцията на желязо йони. Хидрогенно отгряване намалява повърхностната енергия, за да ограничи адхезията на частиците.

 

Критични отклонения за системите за доставяне на газ?
Вътрешна повърхност RA по -малка или равна на 0 . 13 μm. Скорост на изтичане<1×10⁻⁹ mbar·L/s helium. Outgassing rate <5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm². Particulate count: ≤5 particles >0 . 1 μm на линеен крак.

 

Тестване на валидиране за компоненти на чисти помещения?
SEM-EDS анализ за картографиране на включване . ICP-MS за извличане на метални йони (Na⁺<50ppb, Fe⁺⁺ <10ppb). Vapor phase decomposition for surface metallic contamination.